Nguyên tắc làm việc của bơm chân không vít khô là nhận ra việc phân phối khí và nén bằng cách thay đổi định kỳ thể tích giữa răng thông qua chuyển động ngược lại của một cặp cánh quạt vít không đối xứng. Quá trình cụ thể được chia thành ba giai đoạn: hút, nén và ống xả:
Quá trình tiếp nhận: Khi rôto bắt đầu quay, thể tích giữa các răng dần dần mở rộng, tạo thành chân không và khí bị hút vào dưới tác động của chênh lệch áp suất. Khi rôto tiếp tục quay, âm lượng giữa răng tiếp tục mở rộng và vẫn được kết nối với lỗ hút cho đến khi quá trình hút kết thúc.
Quá trình nén: Khi rôto quay xa hơn, thể tích giữa các răng bắt đầu giảm và thể tích của khí được niêm phong trong đó cũng giảm, dẫn đến tăng áp suất, do đó nhận ra quá trình nén khí.
Quá trình xả: Khi thể tích giữa các răng được kết nối với lỗ xả, khí có áp suất khí thải dần dần được thải ra qua lỗ khí thải cho đến khi khí trong thể tích giữa răng được thải ra hoàn toàn.
